Ссылка для цитирования (ENG)
Федорцов Александр Борисович , Иванов А. С., Гончар И. В. Быстродействующий интерферометрический измеритель толщины пленок в диапазоне от десяти до тысячи микрон. Научно-технические ведомости СПБГПУ, серия "Физ.-мат.науки". 2012. №3. pp. 22-28. http://ntv.spbstu.ru/physics/article/N3.153.2012_08/
Авторы
Федорцов Александр Борисович , Иванов А. С., Гончар И. В.
Журнал
Научно-технические ведомости СПБГПУ, серия "Физ.-мат.науки"
Год
2012
Ключевые слова
Аннотация