САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМПЕРАТРИЦЫ ЕКАТЕРИНЫ II

ПЕРВОЕ ВЫСШЕЕ ТЕХНИЧЕСКОЕ УЧЕБНОЕ ЗАВЕДЕНИЕ В РОССИИ

Быстродействующий интерферометрический измеритель толщины пленок в диапазоне от десяти до тысячи микрон.

Ссылка для цитирования (ENG)

Федорцов Александр Борисович , Иванов А. С., Гончар И. В. Быстродействующий интерферометрический измеритель толщины пленок в диапазоне от десяти до тысячи микрон. Научно-технические ведомости СПБГПУ, серия "Физ.-мат.науки". 2012. №3. pp. 22-28. http://ntv.spbstu.ru/physics/article/N3.153.2012_08/

Авторы

Федорцов Александр Борисович , Иванов А. С., Гончар И. В.

Журнал

Научно-технические ведомости СПБГПУ, серия "Физ.-мат.науки"

Год

2012

Ключевые слова


Аннотация