Ion velocity distribution functions in argon and helium discharges: Detailed comparison of numerical simulation results and experimental data

Ссылка для цитирования (ENG)

Wang H. H. , Sukhomlinov V. S. Ion velocity distribution functions in argon and helium discharges: Detailed comparison of numerical simulation results and experimental data Plasma Sources Science and Technology. 2017. №2. pp. 1-8. 10.1088/1361-6595/26/2/024002

Авторы

Wang H. H. , Sukhomlinov V. S.

Журнал

Plasma Sources Science and Technology

Год

2017

Ключевые слова

Аннотация