Ссылка для цитирования (ENG)
Федорцов Александр Борисович , Иванов А. С., Гончар И. В., Манухов В. В. Автоматизированный быстродействующий лазерный интерферометр для контроля толщины твердых и жидких пленок. Известия ВУЗов. Приборостроение. 2012. №5. pp. 72-79. http://openbooks.ifmo.ru/read_pribor/5908/5908.pdf
Авторы
Федорцов Александр Борисович , Иванов А. С., Гончар И. В., Манухов В. В.
Журнал
Известия ВУЗов. Приборостроение
Год
2012
Ключевые слова
Аннотация
